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一、基本情况
应美国物理学会组委会邀请，本人于2023年10月7日至10月15日到美国密西根大学参加美国物理学会气体电子学国际会议。
年度美国物理学会气体电子学会议是世界上等离子体物理学家最大的、最有威望的国际会议。今年的会议有五百多名来自世界各国等离子体物理领域的杰出科学家发表研究工作。这些物理学家包括等温等离子体、高温等离子物理、等离子体科学及工程应用等方面的专家。会议包含了四类专题会议，分布在密西根啊大学会议中心的4个会议室中。其中等离子体科学与工程在微电子制造中应用等议题与我课题组的研究方向一致。
二、访问成果
在本次会议专题讨论会上，我发表题为“台式激光等离子体极紫外光源”的报告。认真听取该次会议上邀请报告、口头报告以及观看了张贴报告，并与国内外等离子体物理应用方面的同行进行了广泛的学术交流。本次会议特别是有美国能源部的技术官员（科研管理人员）介绍能源部近期的科研基金重点资助方向，公开项目的总体情况，国际合作项目的情况，申请的注意事项等专题报告，对我们很有启发。本次会议值得关注的一个新的研究热点便是如何继续拓展激光等离子体极紫外光源在微电子器件制造中的新应用。这些工作对促进我校的等离子体物理在信息科学及能量领域等方面的快速发展起到一定的作用。
该次会议来自全世界各个国家的参会者五百多人，邀请报告有一百余个，其中华人邀请报告少于十人。 仔细观察了一下，这些华人大部分来之美国或其他国家的国际名校或著名研究所，国内的学者的参会比例明显低于前些年在美国召开的专业国际会议。
会议的另一注意点是在等离子体物理基础研究方面的很多邀请报告来自于美国的能源部普林斯顿等离子体实验室、圣地亚国家实验室等国立研究机构，可见这些国立单位在美国的等离子体物理研究中占有主要的地位；在等离子体科学及工程应用方面，国际上著名的半导体公司如美国的Micron及英特尔，韩国的三星等报道了等离子体科学及工程在微电子领域的最新应用。
会议期间， 全世界物理学领域的重要期刊，比如物理评论系列杂志，均在大会设定展台，吸引了众多的研究人员。同时，会议设立了相关领域的工作市场，为很多即将毕业的研究生提供了很好的工作机会。
三、未来工作
继续深入开展极紫外光学领域科学研究，掌握极紫外光刻领域关键技术。
在美期间，严格遵守国家外事管理办法之规定，按时出国，如期回国，在境外期间遵守外事纪律，严格按照既定日程和路线行动，勤俭节约，不铺张浪费，认真执行《吉林省因公出国临时出国管理办法》的各项规定。
现将该总结在全校范围内公示（公示期5日），公示期间如有异议，请与国际交流与合作处联系。
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